微机化干涉扫描微位移测量仪专利登记公告

专利名称：微机化干涉扫描微位移测量仪

摘要： 一种微机化干涉扫描微位移测量仪器，属于长度计量技术领域。本实用新型根据扫描干涉仪原理，采用三光束射入单一的法布里·白洛干涉仪，分别判别位移的方向、整数和小数，使测量量程提高了一倍。同时采用了压电扫描非线性补偿装置，光准直系统，光导纤维，斜光束干涉聚光镜，微膨胀合金结构和微机提高了精度和测量自动化。本实用新型可使量程达１００微米，精度达０．００５微米，可用于块规检定，物理量测试，地震研究及同步辐射实验。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89206552.4

专利申请（专利权）人：中国科学技术大学

专利发明（设计）人：钱石南; 冯焕清; 张志萍; 黄文浩; 施周宏; 阚娅

主权项： 一种微机化干涉扫描微位移测量仪，它由机械系统、光电系统、测量显示系统组成，其中：　　（１）机械系统有平行弹簧导轨（１５），中心测杆（１６）。　　（２）光电系统有激光器（１），压电陶瓷（９），法布里·白洛干涉仪（１０，１１）。　　（３）测量显示系统有放大器（２１），接口（２２）。　　其特征在于：来自激光器（１）的光束经过光准直系统、分光偏角系统后进入法布里·白洛干涉仪（１０，１１），然后该光束穿过聚光镜（１３），射到反射镜（１４）上；压电陶瓷（９）与干涉仪的上腔片（１０）相连，由压电扫描非线性补偿装置驱动

专利地区：安徽