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微机化干涉扫描微位移测量仪专利登记公告


专利名称:微机化干涉扫描微位移测量仪

摘要: 一种微机化干涉扫描微位移测量仪器,属于长度计量技术领域。本实用新型根据扫描干涉仪原理,采用三光束射入单一的法布里·白洛干涉仪,分别判别位移的方向、整数和小数,使测量量程提高了一倍。同时采用了压电扫描非线性补偿装置,光准直系统,光导纤维,斜光束干涉聚光镜,微膨胀合金结构和微机提高了精度和测量自动化。本实用新型可使量程达100微米,精度达0.005微米,可用于块规检定,物理量测试,地震研究及同步辐射实验。

专利类型:实用新型专利

专利号:CN89206552.4

专利申请(专利权)人:中国科学技术大学

专利发明(设计)人:钱石南; 冯焕清; 张志萍; 黄文浩; 施周宏; 阚娅

主权项: 一种微机化干涉扫描微位移测量仪,它由机械系统、光电系统、测量显示系统组成,其中:  (1)机械系统有平行弹簧导轨(15),中心测杆(16)。  (2)光电系统有激光器(1),压电陶瓷(9),法布里·白洛干涉仪(10,11)。  (3)测量显示系统有放大器(21),接口(22)。  其特征在于:来自激光器(1)的光束经过光准直系统、分光偏角系统后进入法布里·白洛干涉仪(10,11),然后该光束穿过聚光镜(13),射到反射镜(14)上;压电陶瓷(9)与干涉仪的上腔片(10)相连,由压电扫描非线性补偿装置驱动

专利地区:安徽