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硅自封闭压力传感器专利登记公告


专利名称:硅自封闭压力传感器

摘要: 一种硅自封压力传感器,它克服了原有技术中加工难度大,测量精度不高等缺点。本实用新型包括有金丝、引线板、缓冲垫、玻璃元件、硅元件、密封圈、压紧螺帽等组成,其中由玻璃元件硅元件的下部,在硅力敏元件与外壳之间用粘接剂进行密封,在下部利用密封圈进行密封。本实用新型的具有测量精度高、线性好、成本低等优点。

专利类型:实用新型专利

专利号:CN89210121.0

专利申请(专利权)人:于海波; 段祥照

专利发明(设计)人:于海波; 段祥照

主权项: 一种硅自封闭压力传感器,包括有金丝1,引线板2,缓冲垫3,玻璃元件4,硅元件5,密封圈6,压紧螺帽7,外壳8,密封粘接剂9,其特征在于:硅元件5设置在玻璃元件4的下端,构成硅力敏元件,玻璃元件4的上端设置有缓冲垫3,硅力敏元件在外壳8的上部,在外壳8与硅力敏元件之间,充填有粘接剂9,在硅力敏元件与压紧螺帽7之间设置一个密封圈6。

专利地区:辽宁