光学精密平移器专利登记公告

专利名称：光学精密平移器

摘要： 本实用新型是一种光学精密平移器，可实际用于在采取闭环控制的光学仪器中，推动光学元件或机械元件作微米级和亚微米级的精密平移。它包括用三个叠片式微位移驱动元件，按等边三角形均布，粘接在两个光学基板之间，采用位移平衡调节控制电路，可通过调节驱动器上的外加电压，改变其变形量，从而使其位移具有高精度的平衡和所要求的平移范围。其平移精度高，倾斜误差小于０．１″，平移范围０．０１μｍ～±２０μｍ，响应速度小于１ｍｓ。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89213057.1

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：凌宁; 官春林; 陈东红

主权项： 一种包括压电陶瓷驱动件和两个带孔的光学基板的光学精密平移器，其特征在于采用三个叠片式的微位移驱动器１作驱动元件，并且按等边三角形分布、粘接在光学上基板２和光学下基板３之间，采用一个可实现单电源多路控制、并且可通过调节驱动器１上的外加电压，改变驱动器１的变形量、从而实现其位移具有高精度的平衡和所要求的平移范围的位移平衡调节控制电路。

专利地区：四川