内光路偏心光束自动调焦仪专利登记公告

专利名称：内光路偏心光束自动调焦仪

摘要： 一种内光路偏心光束自动调焦仪，采用内光路偏心光来作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头安装在显微镜本体的构件上。可用于显微电测量仪，线宽轮廓测量仪，光盘等的自动调焦。$本自动调焦仪调焦范围大，可达１０００μｍ，调焦精度高，≤±０．１μｍ。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89213612.X

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：薛实福; 李庆祥; 汪春庆; 许先海

主权项： 一种由光电检测头，显微镜本体，控制系统，驱动电机及减速机构组成的自动调焦仪，其特征是采用内光路偏心光束作为检测光源，用二象限硅光电池来接收离焦信号，其光电检测头（８）安装在显微镜本体（９）的构件上（主光路的一侧），在显微镜工作台升降机构处设置驱动电机及减速机构（１１）。

专利地区：北京