横向效应硅——蓝宝石力敏元件专利登记公告

专利名称：横向效应硅——蓝宝石力敏元件

摘要： 本实用新型是以具有弹性的、绝缘的蓝宝石为应变基片并在其上外延的单晶硅，通过平面半导体微电子工艺制作横向效应Ｘ型力敏元件，成X形。其四端面上是铝膜电极，具有体积小、稳定性好。精度和工作温度高等特点，是理想的单一力敏元件。可利用压力、荷重、位移、加速度等力学量传感器装配工艺，制作上述硅——蓝宝石力学量传感器。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89214111.5

专利申请（专利权）人：机械电子工业部第四十九所

专利发明（设计）人：姜海平; 孙小冬

主权项： 一种力学量敏感元件，是以兰宝石为应变基片，其上外延单晶硅膜，其特征在于它是一个成Ｘ形的单一元件，其四端是电极铝膜。

专利地区：黑龙江