无定形硅感光鼓的制备装置专利登记公告

专利名称：无定形硅感光鼓的制备装置

摘要： 本实用新型提出了用双弧形放电阳极结构制备静电复印用无定形硅感光鼓。在该装置中反应气体流向与鼓基表面平行相切而不是垂直于表面，制得的无定形硅感光鼓具有完整、无龟裂的表面和良好的充放电性能。$在双弧形放电阳极外围再设置金属网罩或是聚四氟乙烯罩，提高了感光鼓的沉积速率，并改善了轴向均匀性。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89216549.9

专利申请（专利权）人：机械电子工业部第十八研究所

专利发明（设计）人：胡坚; 陈煜; 胡宏勋

主权项： 一种静电复印用无定形硅感光鼓的制备装置，由反应室、射频发生器、反应气瓶等组成，反应室中有放电阳极、出气管、鼓基、等离子区等，其特征是：放电阳极１２采用两个镜像对称的弧形板，放电阳极１２与鼓基５保持同心，出气管３用柱状管，放置在鼓基５的两边，二个出气管３ａ和３ｂ的对称轴与二个弧形板放电阳极１２ａ和１２ｂ的对称轴成９０°，放电阳极１２和出气管３均由金属制成。

专利地区：天津