腐蚀性流体用的管路系统专利登记公告
专利名称:腐蚀性流体用的管路系统
摘要: 本实用新型为制取半导体材料的外延炉的管道系统,主要包括阀、阀座、管道系统中各种流体的容器等,其特点是所有阀门都安装在一个共同的阀座上,阀座内有若干孔,连成管路系统所要求的通路。该种管路系统的优点是接口少,泄漏少,维修容易,安装简便,占用面积小,结构紧凑,外形美观,减少操作人员吸入有害气体,有利于人身健康,采用聚四氟乙烯材料制成阀座和阀的零件,有利于保持流体纯度和保证产品质量。
专利类型:实用新型专利
专利号:CN89216720.3
专利申请(专利权)人:陈棣
专利发明(设计)人:陈棣
主权项: 一种腐蚀性流体用的管路系统,包括管路系统中所含各种规格类型的阀,阀座,管路系统中各种流体的容器及其它零部件,其特征是管路系统中所有阀门都安装在一个阀座上,阀座内有若干孔,按管路系统的要求连成通路。
专利地区:北京
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