腐蚀性气、液用的隔膜式流量阀专利登记公告

专利名称：腐蚀性气、液用的隔膜式流量阀

摘要： 本实用新型为隔膜式流量阀，适合强腐蚀性流体使用，包括阀座、阀体、调节螺母、调节螺杆、隔膜及阀针、压力弹簧、旋钮等，特点是阀针与阀口为非刚性接触，使阀针与阀口不易损坏且磨损后仍能保持密合；当管路中介质超压时，介质冲开阀针泄压，可做为安全阀使用，当管路方向接反时，隔膜连同阀针被冲开，不致因发生隔膜破坏而导致锈蚀阀内金属零件影响介质纯度和降低产品质量。该阀可广泛用于制取半导体材料的外延炉管道系统中。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN89216721.1

专利申请（专利权）人：陈棣

专利发明（设计）人：陈棣

主权项： 腐蚀性气、液用的隔膜式流量阀，包括阀座２２、阀体２５、调节螺母２６、调节螺杆３３、隔膜２４、阀针２３、旋钮２７，调节螺母２６和调节螺杆３３间为螺纹传动，隔膜边缘压在阀体阀座之间，调节螺杆３３与阀体２５间有限定调节螺杆３３做直线运动的导向机构，其特征是：　　１）调节螺杆３３为有中心孔的零件，其内孔上部有弹簧顶丝３２、下部有弹簧导柱３７，在弹簧顶丝３２与弹簧导柱３７间有压力弹簧３４，弹簧顶丝３２的外径与调节螺杆３３内孔螺纹连接，弹簧导柱３７可在调节螺杆３３内孔中移动，弹簧导柱３７与隔膜２４连成整体，阀针２３

专利地区：北京