带网状电极的真空镀膜装置专利登记公告
专利名称：带网状电极的真空镀膜装置
摘要： 带网状电极的真空镀膜装置。由蒸发源（１），真空室（５）组成，其特征是，在蒸发源（１）和基板（４）之间设有网状电极（２），在网状电极（２）上设有一个可调直流电源。本实用新型结构简单，操作方便，镀膜质量精良，具有很好的推广运用前景。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN93200772.4
专利申请（专利权）人：昆明亚日钛金电子研究所
专利发明（设计）人：赵晋云; 易湘萍
主权项： 一种真空镀膜装置，由蒸发源（１），真空室（５）组成，其特征是，在蒸发源（１）和基板（４）之间设有网状电极（２），在网状电极（２）上设有一个可调直流电源。
专利地区：云南
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