测量超高真空的小型离子泵装置专利登记公告

专利名称：测量超高真空的小型离子泵装置

摘要： 测量超高真空的小型离子泵装置，属于真空技术领域。由于本设计结构中阴极、阳极的连接方式不同于以往，泵壳（３）接地，阳极引线柱（４）一头穿过绝缘子（６）焊接到阳极筒（５）的侧壁，另一头接到电源中的微电流放大器（２—１）上，阴极引线柱（７）一头穿过绝缘子（６）焊到阴极筒（８）的侧壁，另一头接到电源中的负高压部分（２—２）上，各极之间相互电绝缘。该装置所测放电电流几乎消除了漏电电流影响，显著提高了测量灵敏度。可测出低达１０^－９帕超高真空度。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN93241753.1

专利申请（专利权）人：电子工业部第十二研究所

专利发明（设计）人：丁明清; 季春峰; 蔡泳棠; 王向东

主权项： ５）的侧壁，另一头接到电源中的微电流放大器（２－１）上，阴极引线柱（７）一头穿过绝缘子（６）焊到阴极筒（８）的侧壁，另一头接到电源中的负高压部分（２－２）上，各极之间相互电绝缘。

专利地区：北京