反馈型激光干涉计专利登记公告
专利名称:反馈型激光干涉计
摘要: 反馈型激光干涉计,是一种利用物理光学干涉原理观测机械工件的光洁度、平整度、形状及夹角的精密测量仪器。它设置有半导体激光器LD,透镜L、反射镜M1和M2,半反射镜BS。其特征是:在成象区E与半导体激光器LD之间设置有反馈电路,产生反馈电流的组件由针孔板d、光电管PD和放大器A构成。本实用新型的特点是:抗干扰能力强,能在生产现场对机械工件进行观测。
专利类型:实用新型专利
专利号:CN94203399.X
专利申请(专利权)人:艾勇
专利发明(设计)人:艾勇
主权项: 反馈型激光干涉计设置有半导体激光器LD,透镜L、反射镜M1和M2、半反射镜BS,其特征是:在成象区E与半导体激光器LD之间设置有反馈电路,产生反馈电流的组件由针孔板d、光电管PD和放大器A构成。
专利地区:湖北
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