双单臂压电驱动微调样品台专利登记公告

专利名称：双单臂压电驱动微调样品台

摘要： 本实用新型涉及一种双单臂压电驱动微调样品台。该样品台由外框架和二根单臂组成。单臂与外框架通过固定支点相联，二根单臂之间通过柔性铰链分别与样品台相联。每根单臂为一成直角形的弹性金属框架，直角顶点处置有柔性铰链。弹性金属框架上粘有供驱动用的压电陶瓷片。本实用新型设计的样品台外形小，位移量较大。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN94211264.4

专利申请（专利权）人：清华大学

专利发明（设计）人：田嘉禾; 王世亮; 戴松涛; 金雷

主权项： 一种双单臂压电驱动微调样品台，其特征在于样品台由外框架和二根单臂组成；单臂与外框架通过固定支点相联；二根单臂之间通过柔性铰链分别与样品台相联；每根单臂为一成直角形的弹性金属框架，直角顶点处置有柔性铰链；弹性金属框架上粘结有供驱动用的压电陶瓷片。

专利地区：北京