多功能离子镀膜机专利登记公告

专利名称：多功能离子镀膜机

摘要： 本实用新型涉及一种作为电镀用的离子镀膜机，特别涉及一种物理气相沉积的多功能离子镀膜机。本实用新型由主机、电器控制柜和电源柜三大部分组成。其特征是把空心阴极枪和磁控电弧蒸发源都装在同一真空室中，因而具有空心阴极离子镀和磁控电弧离子镀两种源的蒸发方式为一体，工艺性能可靠，结构简单、操作方便，且噪音小。本实用新型可镀单质膜，镀化合物膜，还可镀复合膜，且膜层致密均匀、附着力强、工艺重复性好、无污染，可广泛适用于机械、电子、造船、轻工、国防工业等。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN94215328.6

专利申请（专利权）人：北京市天金机电新技术开发公司

专利发明（设计）人：郭远纪; 黄克良; 张贵隆; 王桂书

主权项：一种多功能离子镀膜机，包括电器控制柜（2）、电源柜（3），其特征是所述的多功能离子镀膜机还包括由谐波减速器（101），封头（102）钟罩（103）、升降机构（104）、水冷铜坩埚（105）隔热板（106）空心阴极枪（107）、橡胶管（108）、联轴节（109）、法兰盘（110）、传动轴（111）、加热器（112）、拨叉（113）、工件架（114）观察窗（115）高压帽（116）热电偶（117）、磁控电弧蒸发源（118）、点弧器（119）、密封圈（120）、底盘（121）、机架（122）、扩散泵（123）、

专利地区：北京