凹形石墨烧结舟专利登记公告

专利名称：凹形石墨烧结舟

摘要： 本实用新型公开了一种凹形石墨烧结舟。在石墨烧结舟的上部有一个凹槽，所述凹槽的内侧壁上有一个台阶、底部有一个通孔，在该烧结舟的底部还有一个圆形凸台，其中凸台的外径小于凹槽对应台阶上部的内径且大于凹槽对应台阶下部的内径。其优点是避免了边缘局部返铝、减少了局部缺铝及孔洞、避免了石墨粉夹层且压力均匀性好、硅片利用率高、表面造型容易。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN94228384.8

专利申请（专利权）人：夏吉夫; 郑锦春

专利发明（设计）人：夏吉夫; 郑锦春

主权项： 一种凹型石墨烧结舟，其上部有一个凹槽，其特征在于，所述凹槽（４）的内侧壁上有一个圆形台阶（３）、底部有一个通孔（２），在该烧结舟的底部还有一个圆形凸台（１），其中凸台（１）的外径（φ↓［１］）小于凹槽（４）对应台阶（３）上部的内径（φ↓［３］）且大于凹槽（４）对应台阶（３）下部的内径（φ↓［２］）。

专利地区：辽宁