单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机专利登记公告
专利名称：单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机
摘要： 本实用新型提供一种单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机，它包括真空室，固柱状磁控溅射靶，轰击棒，玻璃传动机械，气体分布管路，电源，冷却水系统，其中轰击棒装在真空室后部，圆柱状阴极溅射靶安装于真空室中央，气体分布管环绕在溅射靶周围，靶的外套管上端与真空室顶端连接，靶的电流接头和冷却水系统接头装在真空室外。
专利类型：实用新型专利
专利号：CN94244721.2
专利申请（专利权）人：刘殿凯; 解云飞
专利发明（设计）人：刘殿凯; 解云飞
主权项： 一种单室固定靶磁控溅射幕墙玻璃镀膜机，其特征是它包括真空室，圆柱状磁控溅射靶，轰击棒，玻璃传动机械，气体分布管路，电源，冷却水系统，其中轰击棒装在真空室后部，圆柱状阴极溅射靶按装于真空室中央，气体分布管环绕在溅射靶周围，靶的外套管上端与真空室顶端连接，靶的电流接头和冷却水系统接头装在真空室外。
专利地区：北京
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