薄膜热敏电阻红外探测器专利登记公告

专利名称：薄膜热敏电阻红外探测器

摘要： 本发明涉及检测技术中的一种检测装置，它由聚光锗透镜，阻挡层，类金刚石膜介质层，铬金导电层，锰镍钴三元素氧化物薄膜敏感层，内引线，陶瓷过渡电极等组成。各组成部分均采用先进的半导体工艺技术来实现，保证了较好较稳定的一致性与重复性，且提高了可靠性。由于其敏感层、介质层薄膜厚度仅为微米量级，可明显的减小时间常数，这对热敏电阻型红外探测器时间常数偏大限制了使用是个重大突破，更有利于提高探测速度，扩展了应用领域。

专利类型：发明专利

专利号：CN96109613.6

专利申请（专利权）人：马开荣; 郭兴华

专利发明（设计）人：梁仁杰; 黄玢

主权项： 一种薄膜热敏电阻红外探测器，其特征在于它包含有：聚光锗透镜、高红外反射阻挡层、类金刚石膜介质层、铬金导电层、薄膜热敏电阻、陶瓷或其它绝缘材料过渡电极、内引线和外壳。其中，在所需规格的锗透镜上镀上增透层，在锗透镜平面上的补偿热敏电阻处用真空镀膜技术和光刻工艺制成阻挡层，随后在整个锗透镜平面上用真空镀膜技术生成一层类金刚石膜，在类金刚石薄膜介质层上利用真空镀膜技术及光刻工艺制成设计好的铬金导电层布线，然后，在锗透镜轴中心位置上及其旁侧有阻挡层的位置上，利用真空镀膜技术和光刻工艺生成二个所需尺寸具有一定比例关系的锰镍钴三元系氧化物薄膜热敏电阻，在铬金导电层的三端点用半导体热压焊接技术引出三根细金丝，即内引线，把这些细金丝分别焊在陶瓷或其它绝缘材料过渡电极上，又在过渡电极上另用三根较粗导线将它直接焊到探测器管座的管腿上。

专利地区：北京