测量掩模设计图形的线宽的方法与系统专利登记公告
专利名称：测量掩模设计图形的线宽的方法与系统
摘要：本发明提供一种测量一掩模设计图形的线宽的方法与系统。该方法包含有：建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
专利类型：发明专利
专利号：CN200410082022.3
专利申请（专利权）人：盟图科技股份有限公司
专利发明（设计）人：何明丰;陈华人
主权项：1.一种测量一掩模设计图形的线宽的方法，其包含有：建置一服务器，其包含有一测量系统；经由因特网建立该服务器与一远端终端机的连接；以及使用该远端终端机登入该服务器，以将该掩模设计图形传送至该服务器并远端操作该测量系统来测量该掩模设计图形的该线宽。
专利地区：台湾
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