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防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置专利登记公告


专利名称:防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置

摘要:防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置,检测装置包括:光源、摄像机镜头、图像传输模块、计算机中心处理器、信息传送模块、信息识别模块和报警装置。这些装置都是现有装置,根据本发明目的选择合适的现有的装置,并将它们组装成按本发明的检测装置,用该检测装置实时检测被托杆(1)支撑的晶片位置状态,防止用机械手从处理室内送/取晶片时机械手碰撞晶片造成晶片损坏。

专利类型:发明专利

专利号:CN200410093467.1

专利申请(专利权)人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

专利发明(设计)人:黎少荷;段志宽;黄 伟;黄连泉

主权项:1、防止送/取晶片用的机械手碰撞晶片的检测装置,检测装置包括:光源、摄像机镜头、图像传输模块、计算机中心处理器、信息传送模块、信息识别模块和报警装置,其特征是:光源,设置在处理室内,为摄像机提供摄像必须的光;摄像机安装在机械手前端的载片板上,用于获取在处理室内支承在托杆(1)上的晶片位置图像;图像传输模块,用传输线将用摄像机镜头获得的晶片位置图像传送到计算机中心处理器;计算机中心处理器,设置有专用视觉板卡(Framegrabber)和图像处理模块,通过与专用视觉板卡配套的视觉系统,进行图像快速处理,在图像

专利地区:上海