减压干燥装置专利登记公告

专利名称：减压干燥装置

摘要：本发明的目的在于提供一种能够防止光致抗蚀剂等薄膜的成分附着在排气泵中的减压干燥装置。该减压干燥装置具备覆盖基板(W)的周围的腔室(10)、排气泵(50)、第一开闭阀(41)、第二开闭阀(42)、第三开闭阀(43)。通过打开第一开闭阀(41)对腔室内(10)进行排气，对形成在基板(W)的主面上的光致抗蚀剂进行减压干燥后，关闭第一开闭阀(41)而停止前述腔室(10)的排气。接着，通过打开第二开闭阀(42)向排气泵(50)供给惰性气体的同时，打开第三开闭阀(43)而向前述腔室(10)内供给惰性气体。

专利类型：发明专利

专利号：CN200510129603.2

专利申请（专利权）人：大日本网目版制造株式会社

专利发明（设计）人：柿村崇;北村嘉孝

主权项：1.一种减压干燥装置，对形成在基板的主面上的薄膜进行减压干燥，其特征在于，具有：腔室，其覆盖基板的周围；排气泵，其对前述腔室内的环境进行排气；第一开闭阀，其配置在前述排气泵与前述腔室之间，通过打开前述第一开闭阀对前述腔室内进行排气，从而对形成在基板的主面上的薄膜进行减压干燥，在关闭前述第一开闭阀而停止前述腔室的排气后，向连接前述第一开闭阀和前述排气泵的管路中供给惰性气体。

专利地区：日本