光学临近修正参数采集方法专利登记公告

专利名称：光学临近修正参数采集方法

摘要：本发明涉及一种光学临近修正参数采集方法，包括步骤：对包括非直角弯角的测试线条进行光学临近修正，形成具有辅助线条的待曝光图形；通过实际曝光或仿真的方法获取待曝光图形曝光后所形成的成型线条；通过对比成型线条与测试线条的差异，获取辅助线条在所述测试线条在所述弯角处是否出现冗余和/或缺漏。与现有技术相比，本发明在曝光测试线条上设置包含有非直角的转角，通过对比用实际曝光或仿真的方法所形成的上述测试线条的成型线条与测试线条自身的差异，可以获取辅助线条的冗余和/或缺漏，以及冗余和/或缺漏出现的位置等临近数据，进而可以利

专利类型：发明专利

专利号：CN200810203537.2

专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

专利发明（设计）人：王谨恒

主权项：一种光学临近修正参数采集方法，其特征在于，包括步骤：对包括非直角弯角的测试线条进行光学临近修正，形成具有辅助线条的待曝光图形；通过实际曝光或仿真的方法获取待曝光图形曝光后所形成的成型线条；通过对比成型线条与测试线条的差异，获取辅助线条在所述测试线条在所述弯角处是否出现冗余和/或缺漏。

专利地区：上海