用复合浆料抛光蓝宝石专利登记公告

专利名称：用复合浆料抛光蓝宝石

摘要：包括分散在一种水性介质中的一种第一类型的颗粒以及一种第二类型的磨料颗粒的一种混合物改进的浆料组合物、以及用于化学机械平面化(CMP)过程的磨料浆料组合物、特别是用于抛光蓝宝石的磨料浆料组合物。这些磨料浆料组合物包括分散在一种水性介质中的具有比被抛光的表面更硬的硬度的一种第一类型的磨料颗粒以及具有比被抛光的表面更软的硬度的一种第二类型的磨料颗粒的一种混合物，特别是碳化硅磨料颗粒以及硅石磨料颗粒的混合物。

专利类型：发明专利

专利号：CN200880110353.X

专利申请（专利权）人：圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司

专利发明（设计）人：A·K·巴克希;I·K·切瑞恩

主权项：一种浆料组合物，包括：分散在一种水性介质中的颗粒，这些颗粒包括一种第一类型的颗粒以及一种第二类型的颗粒的一种混合物。

专利地区：美国