光波导双通道干涉仪阵列专利登记公告

专利名称：光波导双通道干涉仪阵列

摘要：一种光波导双通道干涉仪阵列，由平面玻璃基板上制作的一对或多对平行三维单模玻璃光波导及其上方的覆盖层组成。为了使两平行波导不对称，覆盖层可以覆盖整个基板而使每对波导中的一条波导的局部区间暴露，也可以仅覆盖每对波导中的一条波导的局部区间而使其余部分暴露。由光源发出的单色光经端面耦合或棱镜耦合被同时输入任一对平行波导中，在两波导内激发横电基模或横磁基模。从两平行波导输出的光因发散而叠加，导致明暗条纹相间的干涉图形。通过光电探测器监测任一条纹的强度变化可以获得在两波导内传播的导模之间的位相差随时间的变化，从而可以

专利类型：发明专利

专利号：CN200910077355.X

专利申请（专利权）人：中国科学院电子学研究所

专利发明（设计）人：祁志美;陈方;赵书凯

主权项：一种光波导双通道干涉仪阵列，在玻璃衬底上制作一对或多对单模玻璃光波导形成光波导阵列，每一对光波导之间相互平行且留有间隔，每对不对称光波导构成一干涉仪单元；其中：玻璃衬底上的光波导阵列上覆盖有低折射率致密薄膜，在每对光波导中的一条波导上开设有敏感窗口。

专利地区：北京