二自由度柔性微定位工作台专利登记公告

专利名称：二自由度柔性微定位工作台

摘要：本发明公开了二自由度柔性微定位工作台，包括二自由度柔性微定位工作台柔性机构及整体结构的设计，结构中采用两个压电陶瓷驱动器，每个驱动器尾部通过螺栓与基座相连，顶端通过螺纹连接球形接头，实现赫兹接触。定位工作台的柔性机构主要包括基座、两个结构完全一致的柔性支链及其支撑的动平台三部分。两个位移传感器用来测量动平台的实际输出，分别通过L型支架和Z型支架固定于基座和动平台之间。此柔性微定位工作台具有分辨率高、动态响应速度快的特点，可作为纳米压印光刻定位系统的辅助定位平台，实现微量进给和精密定位。

专利类型：发明专利

专利号：CN200910245040.1

专利申请（专利权）人：天津大学

专利发明（设计）人：田延岭;贾晓辉;张大卫

主权项：二自由度柔性微定位工作台，它包括基座和设置在所述的基座内的正方体动平台，在动平台第一组垂直相邻的两个侧壁上各自连接有一个柔性支链并且在其第二组垂直相邻的两个侧壁上分别连接有第一、二支架，在基座的两个侧壁端面上分别连接有第三、四支架，所述的基座的两个侧壁与所述的动平台第二组垂直相邻的两个侧壁分别平行，所述的第一支架的一端与第三支架的一端彼此相对设置，所述的第二支架的一端与第四支架的一端彼此相对设置，在第一支架与第三支架彼此相对的面上各自安装有第一电容式位移传感器的一个导电片，在第二支架与第四支架彼此相对的面

专利地区：天津