一种镓掺杂p型晶体硅的制备方法专利登记公告
专利名称:一种镓掺杂p型晶体硅的制备方法
摘要:本发明公开了一种Ga掺杂p型晶体硅的制备方法,该方法的特征是在多晶硅锭或单晶硅棒的晶体生长过程中,将一个平行于晶体生长方向的直流电场施加于熔融硅液,使液相中的Ga掺杂向固液界面方向迁移,在电场和凝固偏析的双重作用下,在晶体生长先端的液相中形成一个Ga的高浓度区域,提高了后续生长晶体的掺杂浓度,减弱了凝固偏析的影响,获得在晶体生长方向上Ga含量均匀分布的p型多晶锭或p型单晶棒,并减小了电阻率的偏差范围,提高了材料的成品率,从而降低硅片的生产成本,使得Ga掺杂p型硅片的产业应用在成本上具有可行性。同时该方法对
专利类型:发明专利
专利号:CN201010148415.5
专利申请(专利权)人:上海太阳能电池研究与发展中心
专利发明(设计)人:徐璟玉;胡建锋;熊斌;蒋君祥;戴宁;褚君浩
主权项:一种Ga掺杂p型晶体硅的制备方法,其特征在于:在晶体生长过程中,对熔融硅液施加一个平行于晶体生长方向的直流电场,在温度场和电场的协同控制下完成晶体生长,获得在晶体生长方向上Ga掺杂均匀分布的p型晶硅锭或p型单晶硅棒。
专利地区:上海
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