一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺专利登记公告

专利名称：一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺

摘要：本发明公开了一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，属于微机械惯性传感器领域。在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其中，所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。本发明通过其驱动或检测方向上分布的电调谐变面积电容调节驱动或检测方向的谐振频率，使同批次陀螺器件性能趋于一致；并

专利类型：发明专利

专利号：CN201010151653.1

专利申请（专利权）人：浙江大学

专利发明（设计）人：胡世昌;金仲和;张霞;朱辉杰

主权项：一种具有电调谐功能的微机械梳状栅电容陀螺，其特征是：在所述陀螺的驱动或检测方向分布有电调谐变面积电容，在所述电调谐变面积电容的每个单元电容中，可动电极的正表面与固定电极的正表面相互平行，其特征是：所述可动电极的正表面为矩形且固定电极的正表面为三角形或锯齿形，或者所述可动电极的正表面为三角形或锯齿形且固定电极的正表面为矩形；所述三角形正表面仅与所述矩形正表面的一条长边交叠。

专利地区：浙江