基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法专利登记公告

专利名称：基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法

摘要：本发明公开一种基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头及其制备方法。喷印头包括碳纳米管微气泡发生器和微流体结构，微流体结构包括主通道、毛细通道、微腔室和喷嘴。碳纳米管微气泡发生器和微流体结构分别制作。采用硅表面加工和体硅加工工艺制作喷印头结构，前者主要包括光刻制作图形，磁控溅射工艺制作掩膜，湿法腐蚀掩膜等；后者主要采用湿法腐蚀和干法刻蚀相结合的方法来制作微流体结构。用紫外固化键合方法将双微气泡发生器和微流体结构接合形成完整的喷印头结构。本发明具有很高的空间分辨率、很高的频率响应和很低的功耗。它消除了次液滴问题，

专利类型：发明专利

专利号：CN201010160465.5

专利申请（专利权）人：华中科技大学

专利发明（设计）人：周文利;孙伟钧;李宇鹏

主权项：一种基于双碳纳米管微气泡发生器的喷印头，其特征在于，该喷印头包括衬底(1)、盖板(2)、毛细通道(6)、主通道(7)和至少一个喷印单元；喷印单元由微腔室(3)，第一、第二碳纳米管微气泡发生器(4、5)和喷嘴(8)组成；微腔室(3)和主通道(7)均位于衬底(1)的上部，微腔室(3)与主通道(7)之间通过毛细通道(6)连接，盖板(2)的底部上设置有第一、第二碳纳米管微气泡发生器(4、5)；盖板(2)和衬底(1)封装为一体，且第一、第二碳纳米管微气泡发生器(4、5)位于微腔室的顶部，喷嘴(8)的上部与位于微腔室

专利地区：湖北