热板温度均匀性测试方法专利登记公告

专利名称：热板温度均匀性测试方法

摘要：本发明提供了一种热板温度均匀性测试方法，其包括步骤：提供两个非对称图形并放置于光刻版上，该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1；设定曝光后烘烤(PEB)温度；将曝光后的放置有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤，形成潜像图形，两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2；上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构，利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离，并比较测试值和理论数值的差异以定量反映热板温度的均匀

专利类型：发明专利

专利号：CN201010578121.6

专利申请（专利权）人：无锡华润上华科技有限公司

专利发明（设计）人：黄玮

主权项：一种热板温度均匀性测试方法，其特征在于：其包括步骤：步骤一：提供两个非对称图形并放置于光刻版上，该两个非对称图形之间具有距离D1及两个非对称图形各自中心线之间具有距离L1；步骤二：设定曝光后烘烤(PEB)温度；步骤三：将曝光后有两个非对称图形的圆片进行曝光后烘烤，形成潜像图形，两个非对称图形之间的距离变化为D2且两个非对称图形各自中心线之间的距离变化为L2；步骤四：上述两个非对称图形组成光刻机的对位标记或特定测试结构，利用光刻机的对位系统测定各对位标记或特定测试结构的坐标/距离，并比较测试值和理论数值的差

专利地区：江苏