提高旋转台精度的方法专利登记公告

专利名称：提高旋转台精度的方法

摘要：本发明提出一种提高旋转台精度的方法。旋转台可旋转地位于工件台上并承载基底，基底具有两个以上标记。本方法包括以下步骤：控制具有多个旋转角度的旋转台旋转，每旋转一个旋转角度时，对标记分别进行对准，并记录对准后工件台的位置；根据工件台的位置计算每一旋转角度下旋转台相对于工件台的实际旋转角度；依据旋转台的每一旋转角度及与每一旋转角度对应的实际旋转角度计算工件台在每一旋转角度下的旋转偏移量，以得到与多个旋转角度分别对应的多个旋转偏移量；依据多个旋转偏移量及多个旋转角度计算旋转台在多个旋转角度下每一旋转角度对应的补偿

专利类型：发明专利

专利号：CN201010592239.4

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：李煜芝;王帆;毛方林

主权项：一种提高旋转台精度的方法，所述旋转台可旋转地位于工件台上并承载基底，所述基底具有两个以上标记，其特征是，包括以下步骤：控制所述旋转台旋转，所述旋转台具有多个旋转角度，每旋转一个旋转角度时，对所述标记分别进行对准，并记录对准后所述工件台的位置；根据所述工件台的位置计算每一旋转角度下所述旋转台相对于所述工件台的实际旋转角度；依据所述旋转台的每一旋转角度及与每一旋转角度对应的实际旋转角度计算所述工件台在每一旋转角度下的旋转偏移量，以得到与所述多个旋转角度分别对应的多个旋转偏移量；依据所述多个旋转偏移量及多个旋转

专利地区：上海