测温装置及扩散炉专利登记公告

专利名称：测温装置及扩散炉

摘要：一种测温装置，用于扩散炉中，所述扩散炉包括：温度控制器、腔室及设置于其中用于放置晶圆的晶舟；所述测温装置包括：温度测量模块、温度传送模块和温度处理模块，温度测量模块，设置于所述晶舟内，包括至少两个温度传感器，用于测量所述晶圆的温度并发送至所述温度传送模块；温度传送模块，设置于所述腔室内，用于将所述温度测量模块测得的温度传送至所述温度处理模块，所述温度传送模块包裹有热绝缘套；温度处理模块，用于对接收到的所述温度传感器测得的温度值求平均，并发送至所述温度控制器。本发明提供的测温装置及扩散炉结构简单，安装方便且

专利类型：发明专利

专利号：CN201010592886.5

专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（北京）有限公司

专利发明（设计）人：余茂贤

主权项：一种测温装置，用于扩散炉中，所述扩散炉包括：温度控制器、腔室及设置于其中用于放置晶圆的晶舟；其特征在于，所述测温装置包括：温度测量模块、温度传送模块和温度处理模块，温度测量模块，设置于所述晶舟内，包括至少两个温度传感器，用于测量所述晶圆的温度并发送至所述温度传送模块；温度传送模块，设置于所述腔室内，用于将所述温度测量模块测得的温度传送至所述温度处理模块，所述温度传送模块包裹有热绝缘套；温度处理模块，用于对接收到的所述温度传感器测得的温度值求平均，并发送至所述温度控制器。

专利地区：北京