快速热退火方法专利登记公告

专利名称：快速热退火方法

摘要：本发明实施例公开了一种快速热退火方法，该方法包括：低温台阶阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率；升温阶段，设置边缘区域的灯管功率小于中心区域的灯管功率；降温阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率。本发明所提供的方法，根据边缘区域和中心区域辐射放热和辐射吸热特性的不同，在各个阶段设置边缘区域和中心区域具有不同的灯管功率，从而使得晶片边缘区域和中心区域具有大致相同的温度，提高了晶片的温度均匀性。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010607697.0

专利申请（专利权）人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司

专利发明（设计）人：周祖源;孟昭生

主权项：一种快速热退火方法，其特征在于，包括：低温台阶阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率；升温阶段，设置边缘区域的灯管功率小于中心区域的灯管功率；降温阶段，设置边缘区域的灯管功率大于中心区域的灯管功率。

专利地区：江苏