用于载板架的夹具、载板架和基板的固定方法专利登记公告

专利名称：用于载板架的夹具、载板架和基板的固定方法

摘要：本发明实施例公开了一种用于载板架的夹具、载板系统和基板的固定方法，涉及机械技术领域，为夹具被喷溅上薄膜后，依然能够夹紧基板并且灵活移动而发明。所述用于载板架的夹具，包括：夹具主体、销轴、和弹簧；其中，所述夹具主体上在第一侧面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夹具主体的第二侧面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述销轴具有第一端和第二端，所述第一端设有凸缘，所述第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔固定到所述载板架；所述弹簧套设在所述销轴上，并被限制在所述凸缘与所述凹部的底部之间。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010593927.2

专利申请（专利权）人：北大方正集团有限公司

专利发明（设计）人：朱兴华;苏新虹

主权项：一种用于载板架的夹具，其特征在于，包括：夹具主体、销轴、和弹簧；其中，所述夹具主体上在第一侧面具有凹部，所述凹部的底部具有穿透所述夹具主体的第二侧面的通孔，所述通孔的截面最大尺寸小于所述凹部的截面最大尺寸；所述销轴具有第一端和第二端，所述第一端设有凸缘，所述第二端能够穿过所述夹具主体的凹部和通孔而固定到所述载板架；所述弹簧套设在所述销轴上，并被限制在所述凸缘与所述凹部的底部之间。

专利地区：北京