溅镀装置专利登记公告

专利名称：溅镀装置

摘要：本发明提供一种溅镀装置，其包括一个外壳、多个用于固定待镀工件的料杆组、多个用于固定靶材的第一靶座与第二靶座、一个第一驱动器以及多个第三驱动器组。该外壳界定一个腔体。该多个料杆组收容于该腔体内，平行设置并排布成一个第二圆周。每个料杆组包括多个平行设置并排布成一个第一圆周的料杆。该多个第一靶座及第二靶座设置在该腔体中，并且该第二靶座及第一靶座分别排布在该第二圆周之内外。每个第三驱动器组连接至对应的一个料杆组，用于驱动该料杆组中的每个料杆绕其自身的中心轴旋转。该第一驱动器连接至该多个第三驱动器组，用于驱动该多个

专利类型：发明专利

专利号：CN201010612391.4

专利申请（专利权）人：鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司

专利发明（设计）人：吴佳颖

主权项：一种溅镀装置，其包括一个外壳、多个用于固定待镀工件的料杆组、多个用于固定靶材的第一靶座与第二靶座、一个第一驱动器以及多个第三驱动器组；该外壳界定一个腔体；该多个料杆组收容于该腔体内，平行设置并排布成一个第二圆周；每个料杆组包括多个平行设置并排布成一个第一圆周的料杆，相邻的两个料杆组相分离，相邻的两个料杆相分离；该多个第一靶座及第二靶座设置在该腔体中，并且该第一靶座排布在该第二圆周之外，该第二靶座排布在该第二圆周之内；每个第三驱动器组连接至对应的一个料杆组，用于驱动该料杆组中的每个料杆绕其自身的中心轴旋转；

专利地区：广东