靶材及其形成方法专利登记公告

专利名称：靶材及其形成方法

摘要：一种靶材及其形成方法，背板；靶材坯料，位于背板上；密封槽，位于背板上，所述密封槽围绕所述靶材坯料；非溅射区，位于靶材坯料侧面及从靶材坯料外侧至密封槽的背板表面；所述非溅射区具有花纹图案。本发明通过对靶材的所述非溅射区表面进行喷丸和图案化处理，增加其粗糙度，从而增加了反溅射物质在靶材上的粘附力，大大的减少了反溅射物质剥落的情况。

专利类型：发明专利

专利号：CN201110451876.4

专利申请（专利权）人：余姚康富特电子材料有限公司

专利发明（设计）人：潘杰;姚力军;王学泽;郑文翔

主权项：一种靶材，包括背板；靶材坯料，位于背板上；密封槽，位于背板上，所述密封槽围绕所述靶材坯料；非溅射区，位于靶材坯料侧面及从靶材坯料外侧至密封槽的背板表面；其特征在于，所述非溅射区具有花纹图案。

专利地区：浙江