基于多层薄膜的热电偶温度传感器专利登记公告

专利名称：基于多层薄膜的热电偶温度传感器

摘要：基于多层薄膜的热电偶温度传感器由刀片、热电偶薄膜电极层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层组成，其特征是，采用磁控溅射方法在刀片的前刀面上制备NiCr热电偶薄膜电极和NiSi热电偶薄膜电极，两薄膜电极在刀片的刀尖处重叠形成热电偶温度传感器的测温接点；然后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边沉积Al2O3绝缘薄膜层；最后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边制备TiAlN耐磨保护薄膜层。热电偶测温接点体积小，可以更靠近刀尖，又由于热容量小，响应快；同时热电偶薄膜层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层之间，以及它们与刀片基体之

专利类型：发明专利

专利号：CN201010594407.3

专利申请（专利权）人：中国计量学院

专利发明（设计）人：曾其勇;郑晓峰;余忠华;吴凯;朱明

主权项：基于多层薄膜的热电偶温度传感器由刀片、热电偶薄膜电极层、绝缘薄膜层和耐磨保护薄膜层组成，其特征是，采用磁控溅射方法在刀片(1)的前刀面上制备NiCr热电偶薄膜电极(2)和NiSi热电偶薄膜电极(3)，两薄膜电极在刀片的刀尖处重叠形成热电偶温度传感器的测温接点(A)；然后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边沉积Al2O3绝缘薄膜层(4)；最后采用磁控反应溅射方法在靠近切削刃一边制备TiAlN耐磨保护薄膜层(5)。

专利地区：浙江