反应腔的输气管道系统及其控制方法专利登记公告

专利名称：反应腔的输气管道系统及其控制方法

摘要：本发明提供了一种反应腔的输气管道系统及其控制方法，所述输气管道系统包括：粗泵，经由蝶形阀与反应腔连接，用于对反应腔抽气；涡轮通气泵，所述涡轮通气泵与反应腔连接，用于对反应腔通气，其气冷单元与所述粗泵连通；阀门控制单元，所述阀门控制单元将气冷单元内的气压与反应腔的气压相比较，当所述气冷单元内的气压大于反应腔的气压时，使得所述蝶形阀关闭。本发明中粗泵在工作时总是对气冷单元抽气，能够降低气冷单元内的气压，使其与反应腔的气压保持平衡，所述阀门控制单元对上述气压进行比较，控制蝶形阀的开启或关闭，可以有效防止冷却气体

专利类型：发明专利

专利号：CN201010594837.5

专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

专利发明（设计）人：聂佳相;孔祥涛;何伟业;陈碧钦

主权项：一种反应腔的输气管道系统，包括粗泵，经由蝶形阀与反应腔连接，用于对反应腔抽气；其特征在于，还包括：涡轮通气泵，所述涡轮通气泵与反应腔连接，用于对反应腔通气，其气冷单元与所述粗泵连通；阀门控制单元，所述阀门控制单元将气冷单元内的气压与反应腔的气压相比较，当所述气冷单元内的气压大于反应腔的气压时，使得所述蝶形阀关闭。

专利地区：上海