真空镀膜用离子轰击板机构专利登记公告

专利名称：真空镀膜用离子轰击板机构

摘要：一种真空镀膜用离子轰击板机构，它包括电源、与电源阴极相连的充气管（1）、与电源阳极相连的冷却水管（2）和绝缘件（7），所述的冷却水管（2）与充气管（1）相对设置，待轰击基材（8）从冷却水管（2）和充气管（1）间的夹隙中通过，进行离子轰击，所述的充气管（1）的一端为进气口（3），充气管（1）上与待轰击基材（8）相对的一面设有若干个出气口（4），所述的充气管（1）和冷却水管（2）的两端夹装绝缘件（7）。本发明通过物理方法对基材表面改性，提高基材于膜层的附着力，改善品质。其设计结构简单，安装方便；能保证镀件基材

专利类型：发明专利

专利号：CN201210067552.5

专利申请（专利权）人：无锡康力电子有限公司

专利发明（设计）人：朱殿荣;曹俊

主权项：一种真空镀膜用离子轰击板机构，其特征是它包括电源、与电源阴极相连的充气管（1）、与电源阳极相连的冷却水管（2）和绝缘件（7），所述的冷却水管（2）与充气管（1）相对设置，待轰击基材（8）从冷却水管（2）和充气管（1）间的夹隙中通过，进行离子轰击，所述的充气管（1）的一端为进气口（3），充气管（1）上与待轰击基材（8）相对的一面设有若干个出气口（4），所述的充气管（1）和冷却水管（2）的两端夹装绝缘件（7）。

专利地区：江苏