搬运机械手及搬运装置专利登记公告
专利名称:搬运机械手及搬运装置
摘要:一种用于搬运大面积基板的搬运机械手及搬运装置,所述搬运机械手包括:承载臂和位于所述承载臂表面的防热外壳,且所述防热外壳的厚度范围为:0.001mm~0.3mm。优选地,所述承载臂的表面上或者所述防热外壳与所述承载臂接触的表面上设置有1个或多个突出部。本发明还提供了一种包括上述搬运机械手的搬运装置。本发明采用了防热外壳,使得搬运机械手能在高温环境下仍然准确工作,且即使长时间位于高温环境中,也不会使搬运机械手变形;此外,采用厚度为0.001mm~0.3mm的防热外壳,还可以进一步降低搬运机械手的重量,减小搬运
专利类型:发明专利
专利号:CN201010597591.7
专利申请(专利权)人:理想能源设备有限公司
专利发明(设计)人:胡兵;吴红星
主权项:一种搬运机械手,用于搬运大面积基板,包括:承载臂,其特征在于,还包括:位于所述承载臂表面的防热外壳,且所述防热外壳的厚度范围为:0.001mm~0.3mm。
专利地区:维尔京群岛
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