一种透明导电薄膜的制备方法专利登记公告

专利名称：一种透明导电薄膜的制备方法

摘要：本发明属于发光材料领域，其公开了一种透明导电薄膜的制备方法，包括步骤，AZO靶材和ATO靶材的制备；将AZO靶材、ATO靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并抽真空；调整磁控溅射镀膜工艺参数，进行镀膜处理。本发明采用磁控溅射设备，通过氢气的掺杂，在有机柔性衬底上实现了低阻透明导电膜的制备，得到透明导电薄膜可见光平均透过率大于85％，最低电阻率为9.2×10-4Ω·cm，可达到商用的指标。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010602491.9

专利申请（专利权）人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司

专利发明（设计）人：周明杰;王平;陈吉星;黄辉

主权项：一种透明导电薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1，将Al2O3和ZnO按照质量百分数1∶99～3.5∶96.5混合、研磨后于900～1300℃烧结成AZO靶材，以及将Sb2O3和SnO2按照质量百分数10∶90～20∶80混合、研磨后于900～1300℃烧结成ATO靶材；步骤S2，将步骤S1中得到的AZO靶材、ATO靶材以及衬底装入磁控溅射镀膜设备的真空腔体，并将真空腔体的真空度设置在1.0×10?3Pa～1.0×10?5Pa之间；步骤S3，调整磁控溅射镀膜工艺参数为：AZO靶材和ATO靶材

专利地区：广东