一种导电膜制备方法、导电膜及应用专利登记公告

专利名称：一种导电膜制备方法、导电膜及应用

摘要：本发明适用于半导体材料技术领域，提供了一种导电膜制备方法、导电膜及应用。该导电膜制备方法包括如下步骤：在氧化锌中混合氧化镁、三氧化二铝及二氧化硅，按质量百分比该A12O3占总质量的0.5～3％，该SiO2占总质量的0.5～1.5％，该MgO占总质量的5～25％，该ZnO为余量，搅拌得到混合物，烧结形成磁控溅射靶材；在以氢气和惰性气体的混合气体为工作气体、衬底温度为20-100℃条件下利用该磁控溅射靶材进行磁控溅射形成膜，得到导电膜。本发明制备方法，操作简单、条件温和，原料低廉，生产率高，非常适于工业化生产

专利类型：发明专利

专利号：CN201010604145.4

专利申请（专利权）人：海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司

专利发明（设计）人：周明杰;王平;陈吉星;钟铁涛

主权项：一种导电膜制备方法，包括如下步骤：在氧化锌中混合氧化镁、三氧化二铝及二氧化硅，按质量百分比所述三氧化二铝占总质量的0.5～3％，所述二氧化硅占总质量的0.5～1.5％，所述氧化镁占总质量的5～25％，余量为氧化锌，搅拌得到混合物，烧结形成磁控溅射靶材；在以氢气和惰性气体的混合气体为工作气体、衬底温度为20?100℃条件下利用所述磁控溅射靶材进行磁控溅射形成膜，得到导电膜。

专利地区：广东