连续生产三氯甲硅烷的方法及装置专利登记公告

专利名称：连续生产三氯甲硅烷的方法及装置

摘要：本发明公开了一种在高压下将液态四氯化硅与氢气反应生成气态甲硅烷的方法及装置，在一定压力下，将温度控制在该压力下四氯化硅沸点以上及三氯甲硅烷沸点以下并达到反应适宜温度，使氢气与液态四氯化硅反应生成气态三氯甲硅烷并不断排出反应器。本发明实现了在较低的温度下实现四氯化硅连续转化为三氯甲硅烷的工艺常压连续操作，反应温度较低，转化速率较高，生产消耗能耗少，系统内无固体颗粒，设备损害小，能够显著降低多晶硅的生产成本及设备维护成本。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010603418.3

专利申请（专利权）人：江苏中能硅业科技发展有限公司

专利发明（设计）人：陈涵斌

主权项：一种连续生产三氯甲硅烷的方法，包括在密封的装有液态四氯化硅的反应器内，在一定温度和压力下，将纯氢气通入液态四氯化硅并发生反应，反应生成三氯甲硅烷与氯化氢气体排出反应器，并不断向反应器内补充液态四氯化硅，使反应连续进行的步骤。

专利地区：江苏