加热控制方法、装置和系统，加热腔及等离子体设备专利登记公告

专利名称：加热控制方法、装置和系统，加热腔及等离子体设备

摘要：本发明提出一种加热腔的加热控制方法和装置，加热腔及等离子体设备。其中，加热控制方法包括：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并以所述初始加热温度启动对所述加热腔的加热。本发明实施例可在加热腔启动时首先判断加热腔是否处于冷却状态，且一旦判断加热腔处于冷却状态则降低设定温度，从而减小启动电流，避免对设备造成损害。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010604798.2

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：付金生

主权项：一种加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：检测加热腔的当前温度；根据所述加热腔的当前温度判断所述加热腔是否处于冷却状态；如果判断所述加热腔处于冷却状态，则根据所述设定的目标温度计算初始加热温度，其中，所述初始加热温度小于所述设定的目标温度，并控制加热装置以所述初始加热温度对所述加热腔进行加热。

专利地区：北京