机械手定位装置及传送系统专利登记公告

专利名称：机械手定位装置及传送系统

摘要：本发明提供一种机械手定位装置及传送系统，其中机械手定位装置包括中央控制器、皮带、机械臂和停止传感器；停止传感器设置于皮带上，停止传感器用于检测机械臂是否到达载板上的预设位置，且皮带用于带动停止传感器沿载板的侧边运动；中央控制器分别与机械臂、皮带和停止传感器相连，用于控制机械臂从载板上取放基片，控制皮带传动，且在停止传感器检测到机械臂到达预设位置时控制机械臂停止运动。本发明机械手定位装置通过将停止传感器设置于相对于载板之外的皮带上，不需要在载板上设置大量停止传感器，防止多个停止传感器之间发生检测信号干扰，避

专利类型：发明专利

专利号：CN201010605695.8

专利申请（专利权）人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司

专利发明（设计）人：张孟湜

主权项：一种机械手定位装置，其特征在于，包括：中央控制器、皮带、机械臂和停止传感器；所述停止传感器设置于所述皮带上，所述停止传感器用于检测所述机械臂是否到达载板上的预设位置，且所述皮带用于带动所述停止传感器沿所述载板的侧边运动；所述中央控制器分别与所述机械臂、皮带和停止传感器相连，用于控制所述机械臂从所述载板上取放基片，控制所述皮带传动，且在所述停止传感器检测到所述机械臂到达预设位置时控制所述机械臂停止运动。

专利地区：北京