化学气相沉积装置专利登记公告

专利名称：化学气相沉积装置

摘要：本发明提供了一种化学气相沉积装置，包括反应腔、泵管以及真空泵，所述真空泵通过所述泵管从所述反应腔抽取气体，所述泵管内设置有辐射加热装置，用于对所述反应腔抽出的气体加热。本发明在泵管内设置的辐射加热装置，对流经的反应气体进行辐射加热，具有较高的加热效率，使得所述反应气体在泵管内发生反应而耗尽，从而避免其进入真空泵中发生反应而造成损害。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010613373.8

专利申请（专利权）人：理想能源设备有限公司

专利发明（设计）人：汪宇澄;李一成;陈亮;许国青

主权项：一种化学气相沉积装置，包括反应腔、泵管以及真空泵，所述真空泵通过所述泵管从所述反应腔抽取气体，其特征在于，所述泵管内设置有辐射加热装置，用于对所述反应腔抽出的气体加热。

专利地区：维尔京群岛