蚀刻装置及蚀刻方法专利登记公告

专利名称：蚀刻装置及蚀刻方法

摘要：一种蚀刻装置，包括蚀刻槽、传送滚轮组、上喷淋装置、下喷淋装置、第一升降机构以及第二升降机构。该传送滚轮组、上喷淋装置及下喷淋装置均设置于蚀刻槽内。该传送滚轮组包括多个上传送滚轮和多个下传送滚轮。该上喷淋装置位于多个上传送滚轮的上方。该下喷淋装置位于多个下传送滚轮的下方。该第一升降机构安装于蚀刻槽，并与上喷淋装置相连接，用于驱动上喷淋装置相对多个上传送滚轮在垂直于电路板传送的方向移动。该第二升降机构也安装于蚀刻槽，并与下喷淋装置相连接，用于驱动下喷淋装置相对于多个下传送滚轮在垂直于电路板传送的方向移动。本发

专利类型：发明专利

专利号：CN201010614866.3

专利申请（专利权）人：富葵精密组件(深圳)有限公司;臻鼎科技股份有限公司

专利发明（设计）人：郑建邦

主权项：一种蚀刻装置，包括蚀刻槽、传送滚轮组、上喷淋装置及下喷淋装置，该传送滚轮组、上喷淋装置及下喷淋装置均设置于蚀刻槽内，该传送滚轮组包括多个上传送滚轮和多个下传送滚轮，用于传送位于多个上传送滚轮和多个下传送滚轮之间的电路板，该上喷淋装置位于多个上传送滚轮的上方，该下喷淋装置位于多个下传送滚轮的下方，该上喷淋装置和下喷淋装置用于分别向电路板相对的两表面喷洒蚀刻液，其特征在于，该蚀刻装置还包括第一升降机构和第二升降机构，该第一升降机构安装于蚀刻槽，并与上喷淋装置相连接，用于驱动上喷淋装置相对多个上传送滚轮在垂直于

专利地区：广东