用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计及制作方法专利登记公告

专利名称：用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计及制作方法

摘要：一种用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计，它具有一个内表面比较光滑且深度为微米级的流体通道；所说的流体通道内集成有压力传感器阵列；所说的流体通道内具有几何变化，构成收缩和扩展区域。制作方法为：流体通道的制作：在晶片上进行腐蚀形成通道，通道深度大于10微米，长度大于300微米，宽度大于100微米；压力传感器阵列的制作：压力传感器是在晶片上形成腔，流体流过将使腔表面发生形变；通道和传感器阵列分别在晶片上制作，将这俩个晶片结合；结合后的晶片上的流体单元被进一步切成各自独立的片上流变计。优越性：本发明能够对微

专利类型：发明专利

专利号：CN201010615957.9

专利申请（专利权）人：国家纳米技术与工程研究院

专利发明（设计）人：高鹏;牟诗城;徐超;吴元庆;屈怀泊

主权项：一种用于测量微米体积样品粘度和弹性的微流变计，其特征在于它具有一个内表面比较光滑且深度为微米级的流体通道；所说的流体通道内集成有压力传感器阵列；所说的流体通道内具有几何变化，构成收缩和扩展区域。

专利地区：天津