掩模版的固定装置及其固定方法专利登记公告

专利名称：掩模版的固定装置及其固定方法

摘要：本发明提出一种掩模版的固定装置，掩膜版包括多个第一导磁部。固定装置包括承载部和多个吸附模块。承载部承载掩膜版。多个吸附模块固定于承载部，每个吸附模块于第一导磁部的位置一一对应。每个吸附模块包括电磁铁，当电磁铁通电时，产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。电磁铁可以被第一磁铁和第二磁铁替代，第一磁铁或第二磁铁可改变磁极方向，当第一磁铁和第二磁铁磁极方向相同时，产生磁场将第一导磁部吸附在承载部上。本发明提出一种掩膜版的固定装置，通过磁力吸附的方式将掩膜版固定在固定装置上，制作简单，使用可靠，控制方便。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010618390.0

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：黎刚生;齐芊枫;顾鲜红

主权项：一种掩模版的固定装置，所述掩膜版包括至少3个第一导磁部，其特征是，包括：承载部，承载所述掩膜版；以及至少3个吸附模块，固定于所述承载部，每个所述吸附模块与所述第一导磁部的位置一一对应，每个所述吸附模块包括：电磁铁，当所述电磁铁通电时，产生磁场将所述第一导磁部吸附在所述承载部上。

专利地区：上海