一种标记期望位置确定方法专利登记公告

专利名称：一种标记期望位置确定方法

摘要：一种用于基于独立的多个不同波长对准装置的标记最佳扫描位置确定方法，在确定扫描方向、光源波长后，获得同波长下大周期多重相关系数MCCB和中周期多重相关系数MCCM，根据MCC值判断是否需要重新查找，再根据MCC值和阈值的大小关系判断是否需要在扫描方向和垂直扫描方向上进行位置调整，最终得到最佳扫描位置。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010619057.1

专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司

专利发明（设计）人：韩悦;李运锋

主权项：一种标记最佳扫描位置确定方法，具有如下步骤：步骤1：确定扫描方向、光源波长后，获得同波长下各周期各信号多重相关系数MCC，即大周期多重相关系数MCCB、中周期多重相关系数MCCM；步骤2：大、中周期的信号多重相关系数MCCB、MCCM若均满足：MCC＞阈值A则认为信号多重相关系数检验满足要求，直接进入步骤3；否则认为不满足要求，进一步比较，大、中周期对应的MCC值是否大于阈值C，再以默认间距或设定间距进行螺旋查找，重复步骤2直至满足要求；步骤3：判断MCCB、MCCM是否满足：MCC＞阈值B若都满足，则直

专利地区：上海