一种光刻照明光学系统专利登记公告
专利名称：一种光刻照明光学系统
摘要：一种用于光刻的照明光学系统，包括光源，积分棒，中继透镜以及掩模，其特征在于还包括一个均匀性增强元件。本发明通过在积分棒入射端加入均匀性增强元件，在积分棒长度较短的情况下大幅度提高照明均匀性。同时可以降低成本，减小机械尺寸，降低装配难度。
专利类型：发明专利
专利号：CN201010619059.0
专利申请（专利权）人：上海微电子装备有限公司
专利发明（设计）人：胡斌
主权项：一种用于光刻的照明光学系统，包括光源，积分棒，以及中继透镜，其特征在于：还包括一个均匀性增强元件。
专利地区：上海
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