一种离子注入束线法拉第专利登记公告

专利名称：一种离子注入束线法拉第

摘要：本发明公开了一种离子注入束线法拉第，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定

专利类型：发明专利

专利号：CN201010621903.3

专利申请（专利权）人：北京中科信电子装备有限公司

专利发明（设计）人：曹远翔;唐景庭;刘世勇;胡宝富;林萍;李慧

主权项：一种离子注入束线法拉第，其特征在于：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。

专利地区：北京