一种引束时更换菜单的方法专利登记公告

专利名称：一种引束时更换菜单的方法

摘要：本发明阐述了一种引束时更换菜单的方法，控制离子注入机引束时需要进行菜单更换，从而进行另一次引束的过程。本方法涉及离子注入机，属于半导体制造领域。本方法可以分成两个小的部分讨论，即附图中的步骤(3)更换菜单与当前菜单一致和步骤(4)更换菜单与当前菜单不一致。通过分析这两种方式的不同以及对当前不同作出判断，然后操作各项电源包括气箱，以达到快速，无污染的更换菜单及束流的目的。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010622169.2

专利申请（专利权）人：北京中科信电子装备有限公司

专利发明（设计）人：周文龙;黄永章;邓颖辉;孙勇;林萍

主权项：一种引束时更换菜单的方法，其特征在于：该方法分成了两个部分进行处理，即当前菜单与更换菜单一致(3)和当前菜单与更换菜单不一致(4)，判断的依据是菜单名称是否一致(2)。此处所做的判断为后续的细节处理提供了一个基础。

专利地区：北京